UV Tube Lens
CMM0.7X-UV
- Wavelegnth : 266~550nm
- UV 대물렌즈와 장착으로 특정 파장에 대응하는 패턴 및 CD 측정
- UV 조명 렌즈 장착으로 쾰러 조명 사용
CMM0.8X-UV
- Wavelegnth : 350~600nm
- UV 대물렌즈와 장착으로 특정 파장에 대응하든 패턴 및 CD 측정
- UV 조명 렌즈 장착으로 쾰러 조명 사용
NIR Optics
NIR 렌즈는 770~1200nm 영역의 파장까지 설계되었으며 Near-Infrared 측정에 사용됩니다.
IR 카메라 및 조명을 사용하여 웨이퍼 표면의 이물 및 뒷면의 패턴 & 칩 본딩의 검사에 적합 한 렌즈입니다.
| Model | Mag | W.D (mm) |
Resolution (um) |
N.A | F/# | D.O.F (mm) |
Telecentricity (Degree) |
Optical Distortion (%) |
Sensor Size(mm) (Diagonal Length) |
Mount | Download |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NTL0.3X-434I-12K-NIR | 0.3X | 434 | 25.4 | 0.024 | 6.25 | 1.4 | 0.03 | 12K(5um) | M57 | PDF CAD | |
| TCL4.0X-80D-NIR-11 | 4.0X | 80 | 4.4 | 0.14 | 14.3 | 53.6um | 0.03 | 0.085 | 2/3"(11mm) | C | PDF CAD |
| TCL4.0X-80-NIR-11 | 4.0X | 80 | 4.4 | 0.14 | 14.3 | 53.6um | 0.03 | 0.085 | 2/3"(11mm) | C | PDF CAD |
| TCL4.8X-80D-NIR-11 | 4.8X | 80 | 4.4 | 0.14 | 17.1 | 45um | 0.03 | 0.05 | 2/3"(11mm) | C | PDF CAD |
| TCL4.8X-80-NIR-11 | 4.8X | 80 | 4.4 | 0.14 | 17.1 | 45um | 0.03 | 0.05 | 2/3"(11mm) | C | PDF CAD |
| TCL6.0X-80D-NIR-11 | 6.0X | 80 | 4.1 | 0.15 | 20 | 33um | 0.03 | 0.085 | 2/3"(11mm) | C | PDF CAD |
