일반적으로 이 광학계는 모아레 간섭계 측정 방식을 이용한 광학계이며 대상 체에 패턴(격자)을 투영하여 위상 정보를 얻어 높이를 측정하는 방식입니다. 이러한 측정 방식은 일반적인 프로파일러와 같은 접촉식이 아닌 비 접촉식 방식으로 BGA ball, wafer bump, PCB 표면 등등 높이 특성을 가진 다양한 물체 측정이 가능합니다.
| Measuring Lens | Projection Lens | Illumination |
|---|---|---|
|
Telecentric to avoid any possible error Magnification is up to objective size Sometimes, Non-telecentric lens |
Very low F/# to get high brightness Magnification depends on measurement height Projection area 25~60mm |
Fiber with halogen or Ultra power LED source |
