간섭계는 단일 광원(LED, Laser)을 사용 하여 하나의 빔을 B/S를 사용하여 두 개의 빔으로 나누었다가 다시 한 개의 빔으로 조합 하였을 때 간섭무늬를 만들어 주는 아주 유용한 광학 장치입니다.

이 간섭 무늬는 두 개의 빔에 대해 서로 다른 광경로의 차에 의해서 만들어 지며 이 방법은 시료 표면의 대한 비 접촉 측정을 하여 실제 적인 데이터를 얻을 수 있습니다.

현재 일반적으로 레이저 혹은 백색광을 사용하는 간섭계가 있으며 첫 번째로 레이저를 광원으로 사용 하는 경우 레이저 빔은 단파장으로 가간섭 거리가 길어서 간섭 무늬 데이터를 쉽게 얻을 수 있습니다. 그러나 부정확 한 측정과 실제적인 데이터를 놓치는 경우를 초래 할 수 있습니다. 이와 반대로 WSI는 가간섭 거리가 짧아서 표면의 높이, 깊이, 사이즈의 정밀 측정을 필요로 하는 3D 어플리케이션에서 아주 강력한 장치입니다.

에스피오는 이러한 WSI 시스템을 위하여 튜브렌즈, 조명렌즈 및 LED 조명등 광학 모듈을 고객의 요구하는 사양을 반영하여 특정 배율 및 어플리케이션에 맞게 자체 디자인 하였으며 Michelson 간섭계를 제작 하였습니다.
아울러 이러한 간섭계에는 Michelson 타입(저배율), Mirau 타입(중배율), Linnik 타입(고배율)로 분류 할 수 있으며 이것은 W.D와도 깊은 관계가 있습니다.

Magnificaiton of Tube Lens	Illumination Method	Hi Power LED Illumination & Controller
0.4X~2.0X(Fixed Magnification)	Keohler Illumination for even intensity over the entire image	5W Power LED & 2ch Analog Controller

Low Magnification Micheson Interferometer

Wide F.O.V Michelson optical system
F.O.V : 20.5 X 15.1mm @ 4M sensor
Magnification : 0.8X
N.A : 0.04

High Magnification Micheson Interferometer

F.O.V : 1.37 X 1.37mm@ 4M sensor
Magnification : 10X
N.A : 0.22