UV TUBE LENS & NIR OPTICS

UV Tube Lens

CMM0.7X-UV

- Wavelegnth : 266~550nm
- UV 대물렌즈와 장착으로 특정 파장에 대응하는 패턴 및 CD 측정
- UV 조명 렌즈 장착으로 쾰러 조명 사용

CMM0.8X-UV

- Wavelegnth : 350~600nm
- UV 대물렌즈와 장착으로 특정 파장에 대응하든 패턴 및 CD 측정
- UV 조명 렌즈 장착으로 쾰러 조명 사용




NIR Optics

NIR 렌즈는 770~1200nm 영역의 파장까지 설계되었으며 Near-Infrared 측정에 사용됩니다. IR 카메라 및 조명을 사용하여 웨이퍼 표면의 이물 및 뒷면의 패턴 & 칩 본딩의 검사에 적합 한 렌즈입니다.


Model Mag W.D
(mm)
Resolution
(um)
N.A F/# D.O.F
(mm)
Telecentricity
(Degree)
Optical
Distortion
(%)
Sensor Size(mm)
(Diagonal Length)
Mount Download
NTL0.34X-434I-12K-NIR 0.3X 434 25.4 0.024 6.25 1.4 0.03 12K(5um) M57 PDF CAD
TCL4.0X-80-NIR-11 4.0X 80 4.4 0.14 14.3 53.6um 0.03 0.085 2/3"(11mm) C PDF CAD
TCL4.8X-80D-NIR-11 4.8X 80 4.4 0.14 17.1 45um 0.03 0.05 2/3"(11mm) C PDF CAD
TCL4.8X-80-NIR-11 4.8X 80 4.4 0.14 17.1 45um 0.03 0.05 2/3"(11mm) C PDF CAD
TCL6.0X-80D-NIR-11 6.0X 80 4.1 0.15 20 33um 0.03 0.085 2/3"(11mm) C PDF CAD
TCL4.0X-80D-NIR-11 4.0X 80 4.4 0.14 14.3 53.6um 0.03 0.085 2/3"(11mm) C PDF CAD