Spectrometry

흔히 일반적으로 분광기라고도 하며 이 광학계는 SPO에서 제작한 튜브렌즈 광학계에 적용하여 얻은 이미지를 획득하여 검사하며 다른 SMA Port에 분광 파이버를 사용하여 FPD(Flat Panel Display)의 얇은 막 두께 측정을 할 수 있으며 고해상도의 광학계로 정밀하게 스펙트럼을 측정 할 수 있습니다. 아울러 Parfocal lens의 다양한 배율과 대물렌즈를 변경하여 영상을 획득 할 수 있습니다.

- 비 접촉 식 3차원형상 측정
- Thin layer 두께 측정
- 높은 분해 능을 가지는 렌즈 이용하여 스펙트럼 측정
- Wavelength:400~1100nm